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阀门分配箱的设计特种气体管道安装公司
点击次数:2429 更新时间:2021-12-21 打印本页面 返回

  阀门分配箱主要用于气体分配,这里主要介绍下阀门分配箱的应用等相关知识。


  阀门分配箱(VMB)多用于特种气体的输送中。在半导体、光伏太阳能、IC芯片等生产领域,VMB广泛的应用于诸如磷烷、硼、硅烷、硫化氢、硫化氢、乙烯等易燃易爆、毒腐性气体的分配当中。


  近几年来,智研数据研究中心随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展,电子气体市场需求量明显增长,电子特种气体的国产化已是大势所趋。据了解,我国在国产化方面取得可喜进展:国产高纯氨改变了国外气体公司垄断市场的格局,高纯四氟化碳“有价无货"时代也宣告结束,高纯氯化氢已成功打开国内市场。所以,阀门分配系统的应用会越来越广泛。


  特气VMB应设计进气管路隔离阀及压力指示装置;气体之路应设有独立的压力控制调节阀、过滤器、过流开关;气体的支路应设有独立的出口隔离阀;气体分支路应设置独立的吹扫气体装置、辅助抽真空装置等。


  惰性气体方面,应设置进气管路隔离阀及压力指示装置;气体之路应设有独立的压力控制调节阀、过滤器;气体支路应设有独立出口隔离阀门。


  电子气体,尤其是带有危险性的特殊气体,是发展集成电路、光电子、微电子,特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造过程中*的基础性支撑源材料,它被称为电子工业的“血液"和“粮食",它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率,并从根本上制约着电路和器件的精确性和准确性。

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